Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Slurry Comparison for Chemical-mechanical Polishing (CMP) of Silicon Carbide (SiC)

Redesign and Fabrication of a Magnetic Head for GentelligentTM Products

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2011
Autoren A. Belski, M. Wurz, L.Rissing
Veröffentlicht in 11th Euspen International Conf. 2011, Como, Italy, 2011