Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Sputtering of SmCo Thin Films and Integration into a Ferrofluidic Microactuator

Sputtering of SmCo Thin Films and Integration into a Ferrofluidic Microactuator

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2011
Autoren J. Chen, D. Hoheisel, L. Rissing
Veröffentlicht in IEEE International Magnetics Conf. (Intermag 2011), Taipei, Taiwan, 2011