Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms

Kategorien Beiträge in Büchern
Jahr 2010
Autoren J. Chen, M. Bedenbecker, T. Budde, M. Föhse, C. Ruffert, R. Bandorf, M. Balke, H. Lüthje, B. Majjer, G. Bräuer, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in SFB 516 Buchbeitrag B1 – Fabrication of Magnetic Layers for Electromagnetic Microactuators. pp. 167-188