Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Anodische Auflösung von Aluminium als Downsizing Technik für Mikro-Induktivitäten

Evaluation of a Slider with an Integrated Magnetic Mircroactuator Using Laser Doppler Vibrometry

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2010
Autoren D. Dinulovic, C. Ruffert, H. Saalfeld, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Proc. 12th Int. Conf. on New Actuators 2010, Bremen, Germany, pp. 774-777, 2010