Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Concept Development and Evaluation of a hermetically sealed Ceramic Package

Evaluation of a Slider with an Integrated Magnetic Mircroactuator Using Laser Doppler Vibrometry

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2010
Autorinnen/Autoren D. Dinulovic, C. Ruffert, H. Saalfeld, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Proc. 12th Int. Conf. on New Actuators 2010, Bremen, Germany, pp. 774-777, 2010