Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Slurry Comparison for Chemical-mechanical Polishing (CMP) of Silicon Carbide (SiC)

System Integration Challenges for a Slider with an Integrated Microactuator

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2010
Autoren D. Hoheisel, S. Cvetkovic, W. Kurniawan, E. Obermeier, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Transactions on Magnetics, Vol. 46, Issue 6, pp. 2163-2166, 2010