Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Slurry Comparison for Chemical-mechanical Polishing (CMP) of Silicon Carbide (SiC)

Simulation of an Improved Microactuator with Discrete MSM Elements

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2010
Autoren B. Spasova, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Materials Science Forum Vol. 635, pp. 181-186, Trans Tech Publications, Switzerland, 2010