Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms

A Pladoyer for a Concurrent Nano Engineering

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2009
Autoren E. Flick, V. Saile, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Proc. COMS 2009, 14th Ann. Meet., Conf. CD, Copenhagen, Denmark