Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Slurry Comparison for Chemical-mechanical Polishing (CMP) of Silicon Carbide (SiC)

Applying SU-8TM to the Fabrication of Micro Electro Discharge Machining Electrodes

Kategorien Beiträge in Büchern
Jahr 2009
Autoren O. Traisigkhachol, H. Schmid, M.C. Wurz, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Microsystem Technologies, Springer Verlag Berlin, Heidelberg, New York