Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Slurry Comparison for Chemical-mechanical Polishing (CMP) of Silicon Carbide (SiC)

Magnetische Mikrosysteme für Wandleranwendungen. Magnetic Micro Electro-mechanical Systems (MEMS) for Transducer Applications

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2009
Autoren H.H. Gatzen, C. Ruffert, M.C. Wurz, E. Flick
Veröffentlicht in Proc. MST-Kongress 2009, Berlin, Deutschland, S.425-428