Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Technology Development for Packaging of the GMR-Sensor via Eutectic Bonding

Impact of different polyimide-based substrates on the soft magnetic properties of NiFe thin films

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2015
Autoren J. Rittinger, P. Taptimthong, L. Jogschies, M. C. Wurz, L. Rissing
Veröffentlicht in SPIE Microtechnologies (pp. 95171R-95171R). International Society for Optics and Photonics