Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Slurry Comparison for Chemical-mechanical Polishing (CMP) of Silicon Carbide (SiC)

Mass production for micro end mills

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2017
Autoren B. Denkena, M. C. Wurz, T. Grove, A. Bouabid, E. Asadi
Veröffentlicht in 17th Euspen Int. Conf., S. 245-246, Hannover, 2017