Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms

Development and Optimization of Thin-Film Technology Based Micro Inductors and Transformers

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2016
Autoren Beringer S, Dinulovic D, Haug M, Rissing L, Wurz MC
Veröffentlicht in ECS Trans. 2016 volume 75,issue 2, 51-58
DOI 10.1149/07502.0051ecst
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