Reaktives Ionentiefenätzen von Schattenmasken für die Sensordirektabscheidung mit einer neuartigen Beschichtungsanlage
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Konferenz |
| Jahr | 2017 |
| Autoren | Klaas D, Pehrs F, Wurz MC |
| Veröffentlicht in | Proceedings of the MikroSystemTechnik Kongress 2017, München, pp. 680-683 |
| ISBN | 978-3-8007-4491-6 |
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