ForschungPublikationen
Reaktives Ionentiefenätzen von Schattenmasken für die Sensordirektabscheidung mit einer neuartigen Beschichtungsanlage

Reaktives Ionentiefenätzen von Schattenmasken für die Sensordirektabscheidung mit einer neuartigen Beschichtungsanlage

Kategorien Konferenz
Jahr 2017
Autoren Klaas D, Pehrs F, Wurz MC
Veröffentlicht in Proceedings of the MikroSystemTechnik Kongress 2017, München, pp. 680-683
ISBN 978-3-8007-4491-6
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