Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms

Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen einer Konzentration

Kategorien Patentschriften
Jahr 2020
Autoren H.J. Maier, M.C. Wurz, A. Glukhovskoy, T. Schnebeck
Veröffentlicht in DE102018102059B4