Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Slurry Comparison for Chemical-mechanical Polishing (CMP) of Silicon Carbide (SiC)

Verfahren zur Herstellung von Diamantspitzen

Kategorien Patentschriften
Jahr 2021
Autoren F. Dencker, M.C. Wurz, H.J. Maier
Veröffentlicht in DE102019213043A1