Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Technology Development for Packaging of the GMR-Sensor via Eutectic Bonding

Entwicklung einer Polyimidmembran für elektromagnetische Mittelohr-Aktoren

Kategorien Konferenz
Jahr 2021
Autoren A. Glukhovskoy, E. Müller, M. Prediger, H. Maier, M.C. Wurz
Veröffentlicht in MikroSystemTechnik Kongress 2021