Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Slurry Comparison for Chemical-mechanical Polishing (CMP) of Silicon Carbide (SiC)

Elektronenemissionselektrode und Verfahren zu deren Herstellung

Kategorien Patentschriften
Jahr 2015
Autoren L. Rissing, A. Kusch, M. Stompe, S. Zimmermann, E. Bunert
Veröffentlicht in DE 10 2015 118 805 A1