Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms

Verfahren und Anlage zur Herstellung eines elektrischen Bauteils sowie Computerprogramm

Kategorien Patentschriften
Jahr 2017
Autoren D. Klaas, M.C. Wurz, H.J. Maier
Veröffentlicht in DE 10 2017 113 212 B3