Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Slurry Comparison for Chemical-mechanical Polishing (CMP) of Silicon Carbide (SiC)

Magnetkopf, Verfahren zur Speicherung von Information sowie Erzeugnis

Kategorien Patentschriften
Jahr 2018
Autoren M. Rechel, P. Taptimthong, M. C. Wurz
Veröffentlicht in DE 10 2018 116 896 A1