Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Slurry Comparison for Chemical-mechanical Polishing (CMP) of Silicon Carbide (SiC)

Elektronisches Bauteil

Kategorien Patentschriften
Jahr 2015
Autoren L. Rissing, M.C. Wurz, M. Kaiser
Veröffentlicht in DE 10 2013 013 464 A1