Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms

Beschichtungseinrichtung zum zumindest teilweisen Beschichten einer Oberfläche

Kategorien Patentschriften
Jahr 2015
Autoren F. Bach, J. Becker, L. Rissing, M.C. Wurz
Veröffentlicht in DE 10 2014 004 323 A1