Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Slurry Comparison for Chemical-mechanical Polishing (CMP) of Silicon Carbide (SiC)

Struktureinrichtung mit einem Bauelement, Vorrichtung zur Applikation des Bauelements, Verfahren zur Herstellung der Strucktureinrichtung und Verfahren zur Applikation des Bauelements

Kategorien Patentschriften
Jahr 2013
Autoren L. Rissing, T. Griesbach
Veröffentlicht in DE 102011108981 A1