ForschungPublikationen
Direktabgeschiedene Dünnfilmsensorik mithilfe einer neuartigen Beschichtungsanlage

Direktabgeschiedene Dünnfilmsensorik mithilfe einer neuartigen Beschichtungsanlage

Kategorien Konferenz
Jahr 2021
Autoren R. Ottermann, D. Klaas, F. Dencker, M. C. Wurz
Veröffentlicht in NDVaK - Neues Dresdner Vakuumkolloquium