Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Slurry Comparison for Chemical-mechanical Polishing (CMP) of Silicon Carbide (SiC)

Fertigung und Charakterisierung von in Leiterplatten integrierten Mikrotransformatoren

Kategorien Konferenz
Jahr 2019
Autoren Fischer EC, Cromwell K, Wurz MC
Veröffentlicht in MikroSystemTechnik Kongress 2019
ISBN ISBN 978-3-8007-5090-0