Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Slurry Comparison for Chemical-mechanical Polishing (CMP) of Silicon Carbide (SiC)

Elektrische Kontaktierung bauteilinhärenter Dehnungsmesssensorik mithilfe des Transient Liquid Phase (TLP) Bonding

Kategorien Konferenz
Jahr 2019
Autoren Ottermann R, Knöpke R, Wurz MC
Veröffentlicht in MikroSystemTechnik Kongress 2019
ISBN 978-3-8007-5090-0