Modification of glass by a laser for the use in micro-electric systems and quantum devices

verfasst von
Lauritz Keinert, Jannik Koch, Christoph Künzler, Kirsten Jonna Dehning, Alexander Kassner, Folke Dencker, Stefan Zimmermann, Marc Wurz
Organisationseinheit(en)
Quantentechnologien
QUEST Leibniz Forschungsschule
Institut für Mikroproduktionstechnik
QuantumFrontiers
Institut für Grundlagen der Elektrotechnik und Messtechnik
Typ
Abstract in Konferenzband
Seiten
91
Publikationsdatum
11.03.2024
Publikationsstatus
Veröffentlicht
Elektronische Version(en)
https://doi.org/10.15488/16649 (Zugang: Offen)