Direktabgeschiedene Dünnfilmsensorik mithilfe einer neuartigen Beschichtungsanlage

verfasst von

Rico Ottermann, Daniel Klaas, Folke Enno Dencker, Marc Wurz

Organisationseinheit(en)

Institut für Mikroproduktionstechnik

Typ

Aufsatz in Konferenzband

Publikationsdatum

2021

Publikationsstatus

Veröffentlicht