Entwicklung eines piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnfilms

verfasst von

Lukas Steinhoff

Abstract

Das Institut für Mikroproduktionstechnik (IMPT) arbeitet an einer Prozessfolge zur Abscheidung und Strukturierung eines Aluminiumnitrid-Dünnfilms, welcher aufgrund der piezoelektrischen Eigenschaften sowohl in Sensor- als auch Aktorsystemen Anwendung finden kann.

Organisationseinheit(en)

Institut für Mikroproduktionstechnik
Industrienahe Sensorik

Typ

Beitrag in populärwissenschaftlicher Zeitung/Zeitschrift

Journal

phi – Produktionstechnik Hannover informiert

Band

32

ISSN

2198-1922

Publikationsdatum

23.07.2021

Publikationsstatus

Veröffentlicht

Elektronische Version(en)

https://doi.org/10.48811/phi-21-011 (Zugang: Offen)