Herstellung induktiver elektrischer Bauelemente

verfasst von

Marc Christopher Wurz, Hans Jürgen Maier, Sebastian Beringer

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines induktiven elektrischen Bauelements durch Abscheidung von Schichten unterschiedlicher Materialien auf einem Substratmaterial, wobei die Schichten eine Funktionsschicht bilden, durch die die elektrische Funktion des induktiven elektrischen Bauelements realisiert ist, wobei auf dem Substratmaterial unmittelbar oder mittelbar über eine auf dem Substratmaterial angeordnete Verbindungsschicht eine Trägerschicht aufgebracht wird, die durch Abscheidung von Trägermaterial erzeugt wird, und auf die aus dem Trägermaterial gebildete Trägerschicht die weiteren Schichten der Funktionsschicht durch Abscheidung aufgebracht werden. Die Erfindung betrifft außerdem ein induktives elektrisches Bauelement dieser Art sowie eine mit solchen Bauelementen gebildete Bauelementanordnung.

Organisationseinheit(en)

Institut für Mikroproduktionstechnik
Institut für Werkstoffkunde

Typ

Patent

Publikationsdatum

25.04.2019

Publikationsstatus

Veröffentlicht