Herstellung miniaturisierter Ionengetterpumpen am IMPT

verfasst von
Aleksandra Monika Buchta
Organisationseinheit(en)
Institut für Mikroproduktionstechnik
Typ
Beitrag in populärwissenschaftlicher Zeitung/Zeitschrift
Journal
phi – Produktionstechnik Hannover informiert
ISSN
2198-1922
Publikationsdatum
01.02.2023
Publikationsstatus
Veröffentlicht
Elektronische Version(en)
https://doi.org/10.48811/phi-23-001 (Zugang: Offen)