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Mikromesstechnik

Die Notwendigkeit der Charakterisierung der am Institut für Mikroproduktiostechnik entwickelten und gefertigten Mikrosysteme bedingt eine umfangreiche Kenntnis und Ausstattung im Bereich der Mikromesstechnik.

Die Messtechnik befindet sich sowohl in den Laboren, als auch im Reinraum des IMPT.

Angebotsspektrum

Die Möglichkeiten einer Zusammenarbeit im Rahmen der Forschung und Entwicklung oder eines Kleinauftrags sind breit gefächert und die folgenden Arbeiten stellen nur einen Überblick über die Möglichkeiten des IMPT dar. Für Ihre spezifischen Anforderungen kontaktieren Sie Herrn Dr.-Ing. Marc Wurz. Gerne können Sie sich auch zunächst über die ForschungsbereicheProjekte sowie die Ausstattung des IMPT informieren. 

 

  • Oberflächencharakterisierung (Rauheit, Topografie) / Strukturvermessung

    • Optische Mikroskopie
    • Weißlichtinterferometrie
    • Konfokale Mikroskopie
    • AFM
    • REM

     

  • Profilcharakterisierung (Rauheit, Profilhöhe)

    • Profilbestimmung mittels Tastschnittgerät
    • Lasertriangulations-Höhentaster (Non-Kontakt)
    • Kontakt-Höhentaster

     

  • Materialanalyse

    • EDX
    • Charakterisierung von Magnetwerkstoffen (BH-Kurve, Permeabilität)

     

  • Schwingungsanalyse

    • Laser-Doppler-Vibrometrie