Logo Leibniz Universität Hannover
Logo: IMPT - Institut für Mikropoduktionstechnik
Logo Leibniz Universität Hannover
Logo: IMPT - Institut für Mikropoduktionstechnik
  • Zielgruppen
  • Suche
 

Entwicklung von Mikrosystemen

Das Institut für Mikroproduktionstechnik verfügt über einen hohen Umfang an Erfahrung im Bereich der Entwicklung von, vor allem auf elektromagnetischen Effekten beruhenden, Mikrosystemen. Das Spektrum von Mikrosystemen streckt sich über unterschiedliche Sensortypen (z.B. Wirbelstromsensoren, AMR-/GMR-Sensoren) hin zu magnetischen Mikroaktoren (z.B. biomedizinische und optische Aktorsysteme, Mikromotoren). 

Die Entwicklung der Syteme umfasst den Entwurf mittels analytischer/netzwerkbasierter  sowie simulationstechnischer Methoden in Hinblick auf die am IMPT vorhandenen Fertigungstechnologien.

Die Fertigung der Systeme erfolgt in einem Reinraum der Klasse ISO 5. 

Angebotssprektrum

Die Möglichkeiten einer Zusammenarbeit im Rahmen der Forschung und Entwicklung oder eines Kleinauftrags sind breit gefächert und die folgenden Arbeiten stellen nur einen Überblick über die Möglichkeiten des IMPT dar. Für Ihre spezifischen Anforderungen kontaktieren Sie Herrn Dr.-Ing. Marc Wurz. Gerne können Sie sich auch zunächst über die ForschungsbereicheProjekte sowie die Ausstattung des IMPT informieren. 

 

  • Entwurf von Mikrosystemen

    • Analytisch/Netzwerkbasiert
    • Simulationsbasiert mittels ANSYS®

      • Durchführung von elektromagnetischen Simulationen
      • Durchführung von thermischen Simulationen
      • Durchführung von strukturmechanischen Simulationen



  • Entwurf von Fotomasken

     
  • Fertigung von Mikrosystemen / Technologieuntersuchungen

    • Fotolithografie - Positivfotolacke (z.B. AZ®9260), Negativfotolacke (z.B. SU-8™, Polyimid)
    • Beschichtung  - Galvanik, Sputtern, Aufdampfen
    • Ätztechnologie - Trockenchemisch (DRIE, IBE, FIB)- und Nasschemisches Ätzen (KOH, HF)

     

  • Charakterisierung und Zuverlässigkeitsuntersuchungen