Logo Leibniz Universität Hannover
Logo: IMPT - Institut für Mikropoduktionstechnik
Logo Leibniz Universität Hannover
Logo: IMPT - Institut für Mikropoduktionstechnik
  • Zielgruppen
  • Suche
 
Suche

Seiten: << 2 von 2 >>


Bild zu Non-Kontakt-Höhentaster - Keyence LK-H052
Non-Kontakt-Höhentaster - Keyence LK-H052
Der digitale Höhentaster der Firma Keyence ermöglicht ein kontaktloses Vermessen der Höhe, sowie die Aufnahme eines Höhenprofils. Der Höhentaster ist an einen Auswerterechner gekoppelt, auf dem man mit Hilfe einer Software schnell auf Höhe und Profil der Probe schließen kann.

Bild zu Oberflächenprofilometer - Veeco Dektak³ST
Oberflächenprofilometer - Veeco Dektak³ST
Zur Kontakmessung von Oberflächenprofilen steht am IMPT ein Obeflächenprofilometer der Firma Veeco zur Verfügung.

Bild zu Plasmaanlage - PVA TePla PS 4008 Asyntis / OEM
Plasmaanlage - PVA TePla PS 4008 Asyntis / OEM
Am IMPT steht eine Plasmaanlage 4008 der Firma PVA TePla AG zur Verfügung. In einem Plasma werden Radikale erzeug, welche zum Prozessraum geleitet und durch eine chemische Reaktion organische Schichten oder Verunreinigungen auf den Substraten entfernen, ohne die Oberflächen mechanisch zu Beschädigen oder Verändern. Um die nicht benötigten Bestandteile auf dem Substrat zu entfernen, kann sowohl der Gasfluss und die Zusammensetzung des Prozessgases zur Plasmabildung, sowie die Generatorleistungen und die Substrattemperatur individuell angepasst werden.

Bild zu Plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung (PECVD) - Oxford Instruments Plasmalab 80plus
Plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung (PECVD) - Oxford Instruments Plasmalab 80plus
PECVD – Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung ist ein Verfahren, bei dem durch thermisch und elektrisch angeregte Stoßionisation aus Gasen oder Gasgemischen in einer chemischen Reaktion eine dünne, feste und bei isolierenden Materialien meist glasartige Phase auf einem Substrat abgeschieden wird.

Bild zu Poliermaschinen für chemisch-mechanische Poliervorgänge
Poliermaschinen für chemisch-mechanische Poliervorgänge
Beim chemisch-mechanischen Polieren wird zusätzlich zum mechnischen ein chemischer Abtrag beim zu polierenden Werstoff durch die Poliersuspension (Slurry) erzeugt. Am IMPT stehen Poliermaschinen für unterschiedliche Wafergrößen zur Verfügung.

Bild zu Rasterelektronmikroskop (REM) - Jeol JSM-6400F
Rasterelektronmikroskop (REM) - Jeol JSM-6400F
Für Analysezwecke steht am IMPT ein Rasterelektronenmikroskop zur Verfügung, welches zusätzlich über einen EDaX-Aufsatz zur Materialanalyse, sowie ein zusätzliches System zur Nanolithografie (Elphy Quantum) verfügt.

Bild zu Trennschleifmaschinen - Disco DAC551, DAC-2SP
Trennschleifmaschinen - Disco DAC551, DAC-2SP
Mittels Trennschleifen können hochgenaue Strukturen in verschiedensten Materialen durch Trennschleifblätter erzeugt werden. Dieses Verfahren, das dem Plan-Umfangsschleifen zugeordnet wird, ermöglicht das Vereinzeln von Waferchips in industrieller Anwendung sowie die Herstellung von Strukturen vornehmlich in harten und spröden Materialien.

Bild zu Ultraschall-Bondplätze
Ultraschall-Bondplätze
Zur elektrischen Kontaktierung von Mikrobauteilen stehen am IMPT ein manueller sowie ein halbautomatischer Ultraschallbondplatz zur Verfügung.

Bild zu Vakuum – Feinguss – System - MK Technologiy® MK Mini
Vakuum – Feinguss – System - MK Technologiy® MK Mini
Zum Abformen und Übertragen von Strukturen bis in den Submikrometer–Bereich steht am IMPT ein Vakuum–Feinguss–System zur Verfügung. Hiermit können Mikro– und Nanostrukturen durch Abformen repliziert und auf technische Oberflächen appliziert werden.

Bild zu Vakuumofen - Leybold Univex 450
Vakuumofen - Leybold Univex 450
Der Vakuumofen erlaubt es, Wafer, Chips oder Bauteile im Vakuum einer Thermobehandlung zu unterziehen. Hierbei kann über eine Temperatursteuerung die Aufheizrampe definiert werden. Der Vorteil des Vakuumofens liegt in der quasi Abwesenheit von Sauerstoff im Rezipienten.

Bild zu Vibrationsmagnetometer (Vibrating Sample Magnetomerter - VSM) - EG&G Princeton Applied Research Model 4500
Vibrationsmagnetometer (Vibrating Sample Magnetomerter - VSM) - EG&G Princeton Applied Research Model 4500
Das Vibrationsmagnetometer (Vibrating Sample Magnetometer - VSM) dient zur Messung der magnetischen Eigenschaften von weich- und hartmagnetischen Werkstoffen. Mit Hilfe der VSM Messung ist es möglich das magnetische Moment einer Probe als Funktion eines äußeren Magnetfeldes zu bestimmen. Die gemessene Hysteresekurve dient hierbei zur Bestimmung der Koerzitivfeldstärke, Sättigungsflussdichte und Permeabilität.

Bild zu Weißlichtinterferometer - Wyko
Weißlichtinterferometer - Wyko
Das Weißlichtinterferometer wird zur kontaktlosen Messung von Strukturen und Schichthöhen auf Wafern eingesetzt. Voraussetzung für eine Messung ist eine genügend reflektierende Oberfläche. Eine Auswertesoftware ist vorhanden.

Seiten: << 2 von 2 >>