Precision Profile Grinding of High Aspect Ratio Microstructures
| Kategorien |
Konferenz (reviewed) |
| Jahr | 2003 |
| Autorinnen/Autoren | H.H. Gatzen, C. Morsbach |
| Veröffentlicht in | Proc. euspen Int. Top. Conf. 2003, Aachen, Germany, pp. 349-352 |
