Dicing Challenges in Microelectronics and Micro Electro-Mechanical Systems (MEMS)
| Kategorien |
Zeitschriften/Aufsätze |
| Jahr | 2001 |
| Autorinnen/Autoren | H.H. Gatzen |
| Veröffentlicht in | Microsystem Technologies Vol. 7, pp. 151-154 |
