Design and fabrication of an inductive micro position sensor
| Kategorien |
Konferenz (reviewed) |
| Jahr | 2003 |
| Autorinnen/Autoren | D. Dinulovic, T. Budde, H.H. Gatzen |
| Veröffentlicht in | Statusseminare BMBF-Verbundvorhaben, Microtec, München, S. 295-300 |
