Lehrbuch Mikrotechnologie : für Ausbildung, Studium und Weiterbildung (Kapitel 12: Ätzprozesse)
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Beiträge in Büchern |
| Jahr | 2011 |
| Autorinnen/Autoren | Wurz, M. C., Ruffert, C., Rissing, L. |
| Veröffentlicht in | Fachbuchverlag Leipzig im Carl-Hanser-Verlag, München |
| ISBN | 978-3-446-42560-6 |
