Fertigung eines Mikroaktors zur Manipulation von Nanopartikeln auf einem Glassubstrat
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Konferenz (reviewed) |
| Jahr | 2013 |
| Autorinnen/Autoren | M. Kaiser, E. Delaygina, G. Steinhoff, L .Rissing |
| Veröffentlicht in | Mikrosystemtechnik-Kongress (MST 2013), Aachen, Deutschland, pp. 496-499 |
| ISBN | 978-3-8007-3555-6 |
