Mikro-Hysteresemesssensor zur Vermessung anisotroper Dünnfilme. Micro Hysteresis Sensor for Measuring Anisotropic Thin-Films
| Kategorien |
Konferenz (reviewed) |
| Jahr | 2009 |
| Autorinnen/Autoren | E. Flick, K. Feindt, H.H. Gatzen |
| Veröffentlicht in | Proc. MST-Kongress 2009, Berlin, Deutschland, S. 389-392 |
