Institut für Mikroproduktionstechnik Forschung Publikationen
Microfabricated Inductive Linear Micro Positioning Sensor

Microfabricated Inductive Linear Micro Positioning Sensor

Kategorien Konferenz (reviewed)
Jahr 2004
Autorinnen/Autoren D. Dinulovic, H.H. Gatzen
Veröffentlicht in Proc. 3rd IEEE Int. Conf. on sensors, IEEE Sensors 2004, Vienna, Austria, ISBN 0-7803-8692-2