Development of a device for the determination of local magnetic properties of thin films on whole wafers

Details

betreut von

Hans Jürgen Maier

Organisationseinheit(en)

Institut für Mikroproduktionstechnik

Typ

Dissertation

Anzahl der Seiten

143

Publikationsdatum

2023

Publikationsstatus

Veröffentlicht

Elektronische Version(en)

https://doi.org/10.15488/13690 (Zugang: Offen )