ResearchPublications
Rauheitsmessungen im Subnanometerbereich: Vergleich optischer und tastender Messverfahren (Roughness Measurement in the Subnanometer Range – a Comparison between Optical and Tactile Methods)

Rauheitsmessungen im Subnanometerbereich: Vergleich optischer und tastender Messverfahren (Roughness Measurement in the Subnanometer Range – a Comparison between Optical and Tactile Methods)

Categories Konferenz (reviewed)
Year 1997
Authors H.H. Gatzen, J.C. Mätzig, H. Siekmann
Published In Proc. Workshop 1997: New Developments and Applications in Scanning Probe Microscopy, Dresden, Germany