ResearchPublications
Chemisch-Mechanisches Polieren von Wafern für Mikrosysteme

Chemisch-Mechanisches Polieren von Wafern für Mikrosysteme

Categories Beiträge in Büchern
Year 2004
Authors H.H. Gatzen, C. Morsbach, C. Kourouklis
Published In 61. Jahrbuch Schleifen, Honen, Läppen und Polieren, Vulkan Verlag, Essen, pp. 317-329