ResearchPublications
Modellierung des CMP-Prozesses zum Planarisieren von Mikrosystemen

Modellierung des CMP-Prozesses zum Planarisieren von Mikrosystemen

Categories Beiträge in Büchern
Year 2007
Authors H.H. Gatzen, S. Cvetkovic
Published In SHLP 2007, Braunschweig, Deutschland, 63. Jahrbuch Schleifen, Honen, Läppen und Polieren, Vulkan Verlag, Essen, Deutschland, S. 342-361