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Entwicklung eines Hochtemperatur-Magnetfeldsensors zur Detektion schwacher Felder

Entwicklung eines Hochtemperatur-Magnetfeldsensors zur Detektion schwacher Felder

Categories Doktorarbeiten
Year 2015
Authors Anja Wienecke
Published In Berichte aus dem impt, IMPT 02/2015
Description

Umgebungen mit mehr als 150 °C stellen eine besondere Herausforderung für Sensoren dar. Eine zunehmende Anzahl von Applikationen erfordert jedoch Sensoren, die eine solche thermische Stabilität aufweisen. Im Rahmen dieser Arbeit wird die Entwicklung eines Magnetfeldsensors untersucht, welcher auch bei 250 °C zuverlässig arbeitet und dabei sensitiv genug ist, kleine Magnetfelder, wie das der Erde, zu erfassen. Im Fokus stehen die Entwicklung eines thermisch stabilen Schichtsystems sowie der Entwurf eines geeigneten Sensordesigns und dessen prozesstechnische Umsetzung mit abschließender Charakterisierung.

ISBN 978-3-95900-032-1
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