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Design und Prozessfolge zur Herstellung eines elektromagnetischen Mikroaktors zur Erzeugung einer Flüssigkeitslinse für den Einsatz in einem Mikroskop

Design und Prozessfolge zur Herstellung eines elektromagnetischen Mikroaktors zur Erzeugung einer Flüssigkeitslinse für den Einsatz in einem Mikroskop

Categories Konferenz (reviewed)
Year 2013
Authors D. Hoheisel, L. Rissing
Published In Mikrosystemtechnik-Kongress (MST 2013), Aachen, Deutschland, pp. 500-503
ISBN 978-3-8007-3555-6