ResearchPublications
Fertigung und Charakterisierung hartmagnetischer Dünnfilmschichten

Fertigung und Charakterisierung hartmagnetischer Dünnfilmschichten

Categories Konferenz (reviewed)
Year 2011
Authors J. Chen, C. Ruffert, L. Rissing
Published In Mikrosystemtechnik-Kongress (MST2011), Darmstadt, Deutschland, 2011