ResearchPublications
Magnetische Mikrosysteme für Wandleranwendungen. Magnetic Micro Electro-mechanical Systems (MEMS) for Transducer Applications

Magnetische Mikrosysteme für Wandleranwendungen. Magnetic Micro Electro-mechanical Systems (MEMS) for Transducer Applications

Categories Konferenz (reviewed)
Year 2009
Authors H.H. Gatzen, C. Ruffert, M.C. Wurz, E. Flick
Published In Proc. MST-Kongress 2009, Berlin, Deutschland, S.425-428