ResearchPublications
Anodische Auflösung von Aluminium als Downsizing Technik für Mikro-Induktivitäten

Anodische Auflösung von Aluminium als Downsizing Technik für Mikro-Induktivitäten

Categories Konferenz
Year 2017
Authors Beringer S, Dinulovic D, Bengsch S, Haug M, Wurz MC
Published In MikroSystemTechnik Kongress 2017 · 23. – 25. Oktober 2017 in München (Seite 624-627)
ISBN 978-3-8007-4491-6