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Elektromechanischer Mikro-Biegeaktor als optischer Shutter

Elektromechanischer Mikro-Biegeaktor als optischer Shutter

Categories Konferenz
Year 2017
Authors Pyatishev E, Wurz MC, Enns Y, Glukhovskoy A, Fischer EC, Odintsov A, Kleimanov R
Published In Proceedings of the MikroSystemTechnik Kongress 2017, München
ISBN 978-3-8007-4491-6
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